三氯乙烯：清洗不稳定，与空气或氧气接触时产品易被氧化，温度升高或紫外光下更快，对环境污染有严重危害，在水生物中可产生蓄积，短时内接触（吸入、经皮或口服）大量该品可引起急性中毒。吸入极高浓度可迅速昏迷。吸入高浓度后可有眼和上呼吸道刺激症状。接触数小时后出现头痛、头晕、酩酊感、嗜睡等，重者发生谵妄、抽搐、昏迷、呼吸麻痹、循环衰竭。可出现以三叉神经损害为主的颅神经损害，心脏损害主要为心律失常。可有肝肾损害。口服消化道症状明显，肝肾损害突出。遇到明火，紫外光燃烧后会产生有毒光气和腐蚀性的盐酸烟雾等。

二氯甲烷：二氯甲烷具有麻醉作用，主要损害中枢神经和呼吸系统。少量吸入可对鼻子及喉咙造成轻微刺激。短时间吸入较高浓度的二氯甲烷可能导致头晕、头痛、恶心、呕吐、手脚麻木、疲劳、协调性降低以及眼和上呼吸道刺激症状，高浓度暴露可能导致共济失调、意识丧失甚至死亡。长期吸入较高浓度的二氯甲烷会造成肝及肾的损伤，还有报告指出一直暴露于含量为0.5‰～3.6‰的二氯甲烷环境中会造成脑损伤。

溴丙烷：长期溴丙烷会出现头痛、睡眠障碍、眩晕和视力模糊，之后出现步态蹒跚，足、腿部和臀部以及下背部麻木、感觉异常、震动觉降低、腹泻和排尿困难等表现。受高热分解产生有毒的溴化氢气体，对工件有腐蚀。
在工业清洗领域使用的清洗剂中，ODS（破坏臭氧层物质）清洗剂占有很大比重，特别是在精密清洗中，三氟三氯乙烷（CFC-113）和 1.1.1-三氯乙烷被称为“最好的清洗剂”而倍受欢迎。随着人们对环境保护和人身健康的关心和重视，寻找新的替代品以淘汰ODS清洗剂已成为当务之急。为此，全世界政府部门、科技人员和相关企业做出了巨大投入，各种替代产品和替代技术应运而生。从经济、适用、安全、环保等方面综合平价，碳氢清洗剂是极具前景的ODS替代品。